2025-08-29 09:27:11
中源綠凈在半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈室潔凈度監(jiān)測(cè)中,打造了超微顆粒 管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景:半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈車間。針對(duì) 10 級(jí)光刻 區(qū),采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署,可實(shí)時(shí)采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達(dá) 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期為 1 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光誘導(dǎo)擊穿光譜粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.05μm,檢測(cè)精度誤差≤±5%。通過(guò)與光刻設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng) 0.1μm 微粒濃度超過(guò) 35 粒 / 升時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)曝光環(huán)境,配合微粒溯源算法快速定位污染源,使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國(guó)際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用,符合 SEMI F21 潔凈度標(biāo)準(zhǔn),連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.96%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測(cè)服務(wù),使 75 + 飼料廠原料存儲(chǔ)環(huán)境優(yōu)化,霉變率降 8%!深圳模塊化環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看
中源綠凈為半導(dǎo)體芯片封裝潔凈室開(kāi)發(fā)的潔凈度監(jiān)測(cè)系統(tǒng),重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與靜電協(xié)同監(jiān)測(cè)能力。應(yīng)用場(chǎng)景:芯片封裝測(cè)試潔凈車間。依據(jù) JEDEC J-STD-033 標(biāo)準(zhǔn),在 100 級(jí)封裝區(qū)部署每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn),同步監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度(采樣頻率 1 次 / 3 秒)、靜電電壓(量程 - 1000~+1000V,精度 ±5V)及空氣流速(0.3~0.5m/s)。采用非接觸式靜電傳感器與激光粒子計(jì)數(shù)器組合方案,響應(yīng)時(shí)間均≤0.5 秒。系統(tǒng)具備與鍵合設(shè)備聯(lián)動(dòng)功能,參數(shù)異常時(shí)立即觸發(fā)離子風(fēng)扇調(diào)節(jié),使引線鍵合不良率下降 48%。已在長(zhǎng)電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用,通過(guò)半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室認(rèn)證,監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)合規(guī)率 **。深圳萬(wàn)級(jí)車間環(huán)境監(jiān)測(cè)源頭廠家中源綠凈為 30 + 疾控中心提供環(huán)境監(jiān)測(cè),保障疫苗冷庫(kù)潔凈度,守護(hù)疫苗質(zhì)量!
中源綠凈在**器械清洗潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中,構(gòu)建了水質(zhì) - 微粒雙參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景:**器械清洗消毒潔凈車間。針對(duì)手術(shù)器械清洗的 B 級(jí)潔凈區(qū),采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的布局,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗用水微粒濃度(0.5μm 粒徑,檢測(cè)下限 10 粒 / L)、車間空氣浮游菌(每 30 分鐘采樣 1 次)、水溫(40~60℃,精度 ±0.5℃)及相鄰區(qū)域壓差(≥15Pa)。系統(tǒng)搭載的在線水質(zhì)傳感器響應(yīng)時(shí)間≤2 秒,數(shù)據(jù)采樣頻率 5 次 / 秒,可同步捕捉水中與空氣中的污染風(fēng)險(xiǎn)。通過(guò)與清洗設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)水質(zhì)微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切換過(guò)濾系統(tǒng),使器械清洗合格率提升 38%。已在邁瑞**、威高集團(tuán)應(yīng)用,符合 ISO 15883 清洗消毒標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境數(shù)據(jù)追溯通過(guò)率 **。
中源綠凈為光學(xué)鏡片鍍膜潔凈室定制的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),聚焦于微粒與氣體純度的 管控。針對(duì)鏡片鍍膜的 10 級(jí)潔凈區(qū),部署了超高精度監(jiān)測(cè)終端,可檢測(cè) 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、鍍膜氣體純度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)、環(huán)境溫濕度及氣壓。采用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)(LIBS)檢測(cè)氣體純度,響應(yīng)時(shí)間≤1 秒,數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10 次 / 秒。通過(guò)與鍍膜機(jī)聯(lián)動(dòng)控制,當(dāng)氣體純度不達(dá)標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源,使鏡片鍍膜不良率下降 45%。已在華為光學(xué)、舜宇光學(xué)等企業(yè)應(yīng)用,滿足 ISO 10110 光學(xué)鏡片標(biāo)準(zhǔn),環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率維持在 99.9%。中源綠凈為 40 + 化工企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測(cè),有毒氣體檢測(cè)響應(yīng)時(shí)間<0.8 秒,保障生產(chǎn)**!
中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測(cè)中,構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場(chǎng)景:電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)至 1000 級(jí)潔凈環(huán)境,采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署,可實(shí)時(shí)采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達(dá) 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測(cè)粒徑達(dá) 0.1μm,檢測(cè)精度誤差≤±10%。通過(guò)自研的微粒溯源算法,能快速定位污染源位置,當(dāng)微粒濃度超過(guò)閾值時(shí)自動(dòng)聯(lián)動(dòng) FFU 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速,使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn),連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.94%。中源綠凈環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),助力 65 + 花卉基地溫濕度控制,花期延長(zhǎng) 7 天!深圳無(wú)塵車間環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程
中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案,讓 65 + 速凍食品廠溫度監(jiān)控準(zhǔn),解凍后品質(zhì)更佳!深圳模塊化環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看
中源綠凈在生物制藥發(fā)酵潔凈車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中,推出了溫濕度 - 氧氣濃度多維度方案。應(yīng)用場(chǎng)景:生物發(fā)酵罐潔凈區(qū)。針對(duì) 發(fā)酵的 B 級(jí)潔凈區(qū),配置防爆型監(jiān)測(cè)終端,同步監(jiān)測(cè)發(fā)酵車間溫度(25~30℃,精度 ±0.3℃)、濕度(50%~70% RH,精度 ±3%)、氧氣濃度(19%~21%,精度 ±0.1%)及懸浮粒子濃度。采用電化學(xué)氧氣傳感器實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),響應(yīng)時(shí)間≤10 秒,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量支持 180 天全量回溯。系統(tǒng)對(duì)接發(fā)酵控制系統(tǒng),當(dāng)氧氣濃度偏離 范圍(20.5%±0.2%)時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)通風(fēng)量,使發(fā)酵單位產(chǎn)量提升 12%。通過(guò)微生物濃度趨勢(shì)分析,提前 8 小時(shí)預(yù)警污染風(fēng)險(xiǎn),使發(fā)酵染菌率下降 35%。已在華北制藥、聯(lián)邦制藥等企業(yè)應(yīng)用,符合 GMP 生物制品要求,環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率 **。深圳模塊化環(huán)境監(jiān)測(cè)計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看